IEEE研究揭示微转印技术如何推动先进硅光子学发展

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微转印技术

映维网Nweon 2026年07月21日)随着AR/VR设备向更轻便、更高画质的方向演进,如何在微型化光学引擎中实现高效、高亮度的可见光光源,成为了行业面临的核心挑战之一。如今,IEEE电气电子工程师学会的研究人员展示了微转印技术(MTP)如何能够实现高度通用的异构集成,以扩展硅光子学的功能,为为AR/VR等行业所需的先进光子学系统铺平道路。

IEEE研究揭示微转印技术如何推动先进硅光子学发展

AR/VR头显的核心在于将虚拟图像通过镜片投射入眼,这要求光学引擎能够产生高亮度、高纯净度的红、绿、蓝三色激光。然而,目前广泛用于光子集成电路的硅材料在可见光波段存在严重的吸收问题,无法高效传导和调制可见光。

为此,业界需要将砷化镓等III-V族化合物半导体(用于高效发光)与氮化硅波导(用于低损耗传输可见光)集成在同一芯片上。但这两类材料在制造工艺上互不兼容,传统的CMOS制造线无法直接处理非标准材料,这成为AR/VR光子芯片量产的一大障碍。

微转印技术提供了一种全新的解决思路。所述工艺首先在独立的“源晶圆”上制造出薄膜激光器件,然后通过弹性体印章将这些微型器件拾取并精准“打印”到承载氮化硅波导的目标晶圆上,最后通过键合工艺固定。整个过程类似于将预制好的零件高精度地贴装到主板上。

这项技术的核心优势在于:

  • 广泛的材料兼容性:允许将不同材料体系集成到单一硅光子平台上,每种材料都能采用最适合自身性能的制造工艺。

  • 与CMOS工艺兼容:最终集成后的芯片仍能利用成熟的半导体基础设施进行大规模生产。

实际上,根特大学与imec的研究团队已通过MTP技术,在800纳米波段成功实现了高性能激光器的集成。所述激光器表现出超过70毫瓦的输出功率和超过30分贝的光学增益,并且具有低至519赫兹的超窄线宽,保证了光的纯净和稳定。

当然,MTP技术仍处于商业应用的早期阶段,但相信持续的进步将很快带来大规模的工业制造,从而为先进的硅光子学铺平道路。

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对于AR/VR而言,这意味着未来头显设备中的光学引擎有望从实验室中复杂昂贵的分立元件组合,转变为可大规模量产、高度集成的光子芯片,从而推动设备向更轻、更小、更接近普通眼镜形态的方向演进。同时,高效集成有望降低整体功耗,有助于提升设备的续航表现。

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