Meta AR/VR专利分享提高光提取效率的uLED微型显示结构
提高光提取效率的微型显示结构
（映维网Nweon 2023年10月20日）在制造Micro LED的过程中，晶圆键合和去除Micro LED晶圆衬底后蚀刻形成的台面结构可能会有向内倾斜的侧壁。另外，Micro LED晶圆的外延层的生长通常是先生长较厚的n型半导体层，然后是有源区和较薄的p型半导体层。
因此，Micro LED晶圆通常可以与背板晶圆结合，p型半导体层更靠近背板晶圆，从而使有源区域靠近每个Micro LED的台面结构的底部。所以，从Micro LED中提取在作用区域发射的光的效率可能较低。
在名为“Microdisplay architecture with light extraction efficiency enhancement”的专利申请中，Meta提出了一种提高光提取效率的微型显示结构。
根据一个实施例，在蚀刻外延层以形成用于Micro LED阵列的单个台面结构后，可将具有内倾斜台面侧壁的台面结构修改为具有向外倾斜侧壁和在向外倾斜侧壁上的反射层。
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