Meta AR/VR专利提出用于强化MEMS微镜结构的方法
强化MEMS微镜结构
（映维网Nweon 2023年10月17日）MEMS微镜可用于各种光学应用。其中，来自光源的光束从镜子反射并在自由空间中扫过一个区域。当反射镜振荡时，由于在工作频率下经历的扭转力，反射镜在其结构上经历了增加的应力和变形。扭转力扭曲了反射镜的光学平整度和均匀性，并可能限制反射镜作为光学器件的性能。
解决这个问题的一个常见方法是制造一个更厚的微镜。遗憾的是，增加的质量和体积同样会增加镜面上的压力。由此产生的应力可能导致问题，例如使用寿命缩短和/或设备立即失效。
因此，所以在名为“Stiffening structures for micro-electro-mechanical system (mems) micromirrors”的专利申请中，Meta提出了一种用于强化MEMS微镜结构的方法。其中，所述装置包括多个强化结构，它们共同以一种有助于保持微镜表面光学平坦的方式支撑平台。
图1示出了MEMS微镜100的侧视图，所述微镜100包括多个强化结构。如图所示，MEMS微镜100包括在支撑基板上形成的镜面118A。多个强化结构120中的每一个都可以包括从支撑平台112以垂直方式延伸的高度。多个强化结构120从支撑平台112形成或耦合到支撑平台112，横跨支撑平台112的区域116。
开放区域130存在于多个强化结构中的每一个之间，并且表示不立即由一个或多个强化结构120支撑的镜像元件118的部分。请注意，在图1中仅标记了少数强化结构120和开放区域130。强化结构的尺寸或密度在表面或区域上按比例缩放，以帮助在扭转力下保持微镜表面平坦或光学平坦。
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