Meta提出用于超高分辨率相位延迟和波前成形的超透镜
平面透镜/超透镜光学元件制造方法
(映维网Nweon 2023年10月12日)制造具有曲面的微透镜十分困难,难以使用传统制造技术制造的曲面,并且由于特定几何限制,其可能具有有限的效率和/或偏转角度。
所以在名为“Multilayer flat lens for ultra-high resolution phase delay and wavefront reshaping”的专利申请中,Meta提出了一种用于超高分辨率相位延迟和波前成形的多层平面透镜(超透镜),以及相关制造方法。其中,每个纳米结构的平面层中的晶格可以具有相对较大的间距,因此使用现有的光刻技术可以相对容易地制造平面光学器件的每个平面层。
为了提高所述平面光学器件的效率,所述平面光学器件的多个平面层的每一平面层的晶格相对于其他平面层的晶格可以移位,从而可以减小所述平面光学器件的有效节距,并且可以提高理想相位延迟剖面离散化的分辨率。
例如,如果平面光学器件包括两层纳米结构,并且第二层的分段相对于第一层在每个方向上每层分段的节距p的一半移位,则平面光学器件分段的有效节距可以在每个方向上减小到p/2。
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