微软AR/VR专利提出改进MEMS扫描镜组件中的引线键合公共电气连接
MEMS扫描镜组件中的引线键合公共电气连接
（映维网Nweon 2023年07月28日）在传统的压电MEMS扫描镜系统中，金属致动器框架（与引线键合不兼容）用作所有压电元件（即致动器）的公共电连接。由于基板用作器件的电气和机械互连，因此还必须在金属致动器框架和基板之间进行电气连接。
在以前的器件中，导电粘合剂通常用于将致动器框架机械地和电气地连接到基板。然而，导电粘合剂的机械强度不如专门用于结构目的的粘合剂。机械强度的降低给设备带来了可靠性问题。
为了防止可靠性问题，将导电粘合剂和结构粘合剂混合，例如10%的导电粘合剂和90%的结构粘合剂。然而，粘合剂在整个粘合过程中混合不均匀，导致机械强度和导电性能发生变化。例如，导电粘合剂可能被结构粘合剂覆盖，并且发生导电问题。类似地，结构粘合剂可以在发生结构粘合的地方被覆盖或稀释，并且可能发生结构问题。
最终，设备的每一次迭代都遇到了效率问题。随着效率的降低，设备停止正常工作。
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