Magic Leap专利介绍倾斜衍射光栅的晶体蚀刻制造方法
利用晶体各向异性蚀刻（利用特定晶面作为慢蚀刻面）的制造方法
（映维网Nweon 2026年05月18日）对于AR头显，用于引导光线的倾斜光栅存在制造精度低、侧壁粗糙、光学效率不高等问题。在一份专利申请中，Magic Leap提出了一种利用晶体各向异性蚀刻（利用特定晶面作为慢蚀刻面）的制造方法，在半导体衬底上精确制造出侧壁极其光滑、均匀且倾斜角可控的高质量倾斜衍射光栅。这种光栅可以作为高精度的母模板，通过纳米压印技术批量复制到波导上，从而大幅提高光耦合效率。
倾斜光栅是指具有表面浮雕沟槽阵列的光栅，其中在阵列的铺排方向上，沟槽的侧壁相对于形成沟槽的表面（例如衬底表面）具有基本上均匀的非垂直倾斜角。倾斜角部分地决定了由倾斜光栅衍射的光的强度。倾斜光栅与闪耀光栅（其中在特征阵列的铺排方向上，表面浮雕特征的侧壁彼此不平行），以及二元光栅（其中在特征阵列的铺排方向上，表面浮雕特征的侧壁垂直于形成特征的那个表面）不同。
与二元光栅相比，倾斜光栅可以提供更高的衍射效率，以便更有效地将输出光引导到期望方向，和更有效地将输入光引导到波导中。
倾斜光栅通常（尽管不总是）以透射模式使用。例如，倾斜光栅可以设置在波导上方。入射在倾斜光栅上的光穿过倾斜光栅并被衍射到波导中。与闪耀光栅相比，倾斜光栅可以以较少依赖于光的偏振的方式衍射光。
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